MICROVALVE

The microvalve of the invention is made up in layers of at least one lower part (11), a central part (12) and an upper part (13). The sealing ring (31) (closing member), the valve plate (29) (pressure equalisation area) and the diaphragm (26) are integrated into the central part (12), this one-piece component being produced by a plastic moulding process. The valve is actuated by anelectric operating device, e.g. an electrostatic, electromagnetic or piezoelectric drive. Especially in the case of an electrostatic drive, two electrodes (17, 22) are applied in layers to the central part (12) or the lower part (11). The lower, central and upper parts are put together and permanently bonded, e.g. adhesively or by welding. Une micro-soupape est constituée d'au moins une partie inférieure (11), d'une partie centrale (12) et d'une partie supérieure (13) agencées en couches. La couronne d'étanchéité (31) (organe de fermeture), la tête de soupape (29) (surface d'équilibrage de la pression) et la membrane (26) sont intégrées dans la partie centrale (12) constituée d'une seule pièce fabriquée par un procédé de moulage de matières plastiques. La soupape est actionnée par des éléments électriques de commande, par exemple par un entraînement électrostatique, électromagnétique ou piézoélectrique. Notamment dans le cas de l'entraînement électrostatique, deux électrodes (17, 22) stratifiées sont situées sur la partie centrale (12) ou sur la partie inférieure (11). Les parties inférieure, centrale et supérieure sont assemblées et reliées les unes aux autres de manière permanente, par exemple par collage ou par soudage.