MICROMECHANICAL FILTER AND METHOD FOR THE MANUFACTURE THEREOF

A micromechanical filter is provided with a top layer (10) provided with openings (13), a bottom layer (12), and an intermediate layer (11) provided in predetermined first regions (A) between the top layer (10) and the bottom layer (12), which intermediate layer substantially determines the spacing between the top layer and the bottom layer in predetermined intermediate layer-free second regions (B). It is desirable for a filter of that kind to be operable with as small a pressure difference as possible. For that purpose, third regions (C) are provided in which the spacing between the top layer and the bottom layer is larger than in the first and second regions. L'invention se rapporte à un filtre micromécanique comprenant une couche supérieure (10) présentant des ouvertures (13), une couche inférieure (12), et une couche intermédiaire (11) occupant un premier groupe de régions prédéterminées (A) entre la couche supérieure (10) et la couche inférieure (12). Cette couche intermédiaire détermine en substance l'espacement entre la couche supérieure et la couche inférieure dans un deuxième groupe de régions prédéterminées intermédiaires (B) non occupées par des couches. Etant donné qu'il est souhaitable qu'un filtre de ce type puisse fonctionner avec une différence de pression aussi petite que possible, on prévoit un troisième groupe de régions (C) dans lequel l'espacement entre la couche supérieure et la couche inférieure est plus grand que dans le premier et dans le deuxième groupe de régions.