OPTICAL SCATTER IMAGING

A particle imager and method for imaging particles on surfaces of substrates (19). A reflective suface (17) is scanned by a collimated light beam (57) and particles on the surface are detected by the scattered light caused by the particles. During a scan path (81) the intensity of the scattered light is measured forming intensity traces (91) and location addresses for the detected particles. Data from each scan path is stored in memory. A three-dimensional surface map (95) is formed from the data stored in memory. The intensity traces for a particle (71) when combined together in the surface map form an intensity profile (97, 99, 101) or signature of the particle. These signatures may then be compared to known particle signatures to determine characteristics of the detected particle. Imagerie de particules et procédé pour visualiser des particules sur des surfaces de substrats (19). Une surface réfléchissante (17) est balayée par un faisceau (57) de lumière collimatée et les particules se trouvant sur la surface sont détectées par la lumière dispersée produite par les particules. Pendant un passage de balayage (81) l'intensité de la lumière dispersée est mesurée, formant des traces d'intensité (91) et des adresses d'emplacements pour les particules détectées. Les données provenant de chaque passage de balayage sont stockées en mémoire. Une carte (95) de la surface, en trois dimensions, est réalisée à partir des données stockées en mémoire. Les traces d'intensité d'une particule (71), lorsqu'elles sont combinées dans une carte de la surface, forment un profil d'intensité (7, 99, 101) ou la signature d'une particule. On peut ensuite comparer ces signatures à d'autres signatures de particules connues, pour déterminer les caractéristiques de la particule détectée.