DEVICE FOR THE INTRODUCTION OF LIQUID OR GASEOUS SAMPLES INTO A VACCUM CHAMBER

La présente invention concerne un dispositif d'introduction d'échantillons liquides ou gazeux dans une enceinte à vide. Dispositif caractérisé en ce que le circuit (C) comporte une pompe (1) de circulation des échantillons liquides ou gazeux, disposée entre le réservoir (2) et la vanne fui...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: PELLETIER, MARC, MULLER, JEAN-FRANCOIS, TOLLITTE, FRANCOIS
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:La présente invention concerne un dispositif d'introduction d'échantillons liquides ou gazeux dans une enceinte à vide. Dispositif caractérisé en ce que le circuit (C) comporte une pompe (1) de circulation des échantillons liquides ou gazeux, disposée entre le réservoir (2) et la vanne fuite à commande piézoélectrique (3), fonctionnant tant sous pression que sous pression réduite, du fait d'une absence totale de liaison mécanique entre la pompe (1) et le circuit (C), parfaitement étuvable sans aucun démontage et compatible avec la présence d'un champ magnétique, assurant ainsi un renouvellement du fluide liquide ou gazeux des échantillons au niveau de l'ouverture de la vanne (3) afin de rendre chaque échantillon introduit dans l'enceinte à vide parfaitement homogène en composition et représentatif du mélange présent dans le réservoir (2).