RETENTION VESSEL

Récipient de retenue d'un substrat dans la production d'un affichage plat tel qu'un substrat semi-conducteur à film mince pour la commande d'un affichage à cristaux liquides, consistant en une résine de polyéther-éther-cétone. This invention relates to a retention vessel of a sub...

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Hauptverfasser: KAWAMATA, MOTOO, TAKAHASHI, TOSHIAKI, GOTOH, YOSHIHISA
Format: Patent
Sprache:eng ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Récipient de retenue d'un substrat dans la production d'un affichage plat tel qu'un substrat semi-conducteur à film mince pour la commande d'un affichage à cristaux liquides, consistant en une résine de polyéther-éther-cétone. This invention relates to a retention vessel of a substrate in the production of a flat display such as a thin film semiconductor substrate for driving a liquid crystal display, which consists of a polyether-ether-ketone resin.