DISTANCE MEASURING DEVICE

An electro-optic distance or profile measuring device focusses an energy beam into a line (4) which intersects a surface (5) under examination at at least one point. The energy scattered by the surface (5) is imaged onto a detector (6) whereby analysis of the image intensity distribution provides a measure of the distance from a reference point to the intersection point. The focussing means may be an astigmatic confocal microscope (3) which is confocal in one dimension. The energy beam may be light, other electromagnetic radiation, particle beams or a acoustic waves. Un dispositif électro-optique de mesure de distance ou de profil focalise un faisceau d'énergie en une ligne (4) qui coupe une surface (5) en cours d'examen en un point au moins. L'énergie diffusée par la surface (5) est représentée en image sur un détecteur (6), dans lequel l'analyse de la répartition de l'intensité de l'image fournit une mesure de la distance d'un point de référence au point d'intersection. L'organe de focalisation peut être constitué par un microscope confocal astigmate (3) qui est confocal dans une seule dimension. Le faisceau d'énergie peut être constitué par un rayonnement lumineux, par un autre rayonnement électromagnétique, par des faisceaux de particules ou par des ondes acoustiques.