ELECTROSTATIC CHUCK MEMBER AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE

An electrostatic chuck member comprises: a plate-like dielectric substrate provided with a placement surface on which a plate-like sample is placed and a gas hole penetrating in the thickness direction; an attraction electrode arranged inside the dielectric substrate; a bias electrode arranged inside the dielectric substrate; a conductive cylindrical member surrounding the gas hole; and a conductive shield layer arranged on a side opposite to the placement surface side with respect to the attraction electrode and the bias electrode inside the dielectric substrate, and extending outward in a radial direction with the cylindrical member as a center from an outer peripheral surface of the cylindrical member. La présente invention concerne un élément de mandrin électrostatique comprenant : un substrat diélectrique de type à plaque pourvu d'une surface de placement sur laquelle un échantillon de type plaque est placé et un trou de gaz pénétrant dans la direction de l'épaisseur ; une électrode d'attraction disposée à l'intérieur du substrat diélectrique ; une électrode de polarisation disposée à l'intérieur du substrat diélectrique ; un élément cylindrique conducteur entourant le trou de gaz ; et une couche de blindage conductrice disposée sur un côté opposé au côté de surface de placement par rapport à l'électrode d'attraction et à l'électrode de polarisation à l'intérieur du substrat diélectrique, et s'étendant vers l'extérieur dans une direction radiale avec l'élément cylindrique en tant que centre à partir d'une surface périphérique externe de l'élément cylindrique. 板状試料が載置される載置面および厚さ方向に貫通するガス孔が設けられる板状の誘電体基板と、誘電体基板の内部に配置される吸着電極と、誘電体基板の内部に配置されるバイアス電極と、ガス孔を囲む導電性の筒状部材と、誘電体基板の内部において吸着電極およびバイアス電極に対して載置面側とは反対側に配置され、筒状部材の外周面から筒状部材を中心とする径方向の外側に延びる導電性のシールド層と、を備える、静電チャック部材。