METHOD OF PREDICTING A RESPONSE OF AN ELECTROMAGNETIC SYSTEM TO ILLUMINATION ELECTROMAGNETIC RADIATION

A computer-implemented method of predicting a response of an electromagnetic system to electromagnetic radiation from an illumination configuration. The system comprises an aberration element located in a radiation path which causes aberrations described by an aberration function to electromagnetic radiation transmitted along the radiation path, and an object at an object plane on the radiation path which interacts with the electromagnetic radiation. The method comprises various steps. L'invention concerne un procédé informatique permettant de prédire une réponse d'un système électromagnétique à un rayonnement électromagnétique provenant d'une configuration d'éclairage. Le système comprend un élément d'aberration qui est situé dans un trajet de rayonnement et qui provoque des aberrations décrites par une fonction d'aberration dans un rayonnement électromagnétique transmis le long du trajet de rayonnement, et un objet qui est situé au niveau d'un plan d'objet sur le trajet de rayonnement et qui interagit avec le rayonnement électromagnétique. Le procédé comprend diverses étapes.