DIE FEED DEVICE

The present invention provides a die feed device that can reduce a load on management of a nozzle for replacement in a die feed device in which a suction nozzle of a flip head and a suction nozzle of a feed head are replaced. This die feed device comprises: the flip head which is provided with a first nozzle mounting unit capable of mounting and dismounting a first suction nozzle and uses the first suction nozzle to suction a die from a die body obtained by dicing a wafer; a flip mechanism that flips the flip head to flip the front side and the back side of the die suctioned by the first suction nozzle; a feed head which is provided with a second nozzle mounting unit capable of mounting and dismounting a second suction nozzle and uses the second suction nozzle to suction the die flipped by the flip head and feed the die suctioned by the second suction nozzle; and a nozzle station that accommodates both of the first suction nozzle for replacement and the second suction nozzle for replacement. La présente invention concerne un dispositif de fourniture de puce qui peut réduire une charge sur la gestion d'une buse pour un remplacement dans un dispositif de fourniture de puce dans lequel une buse d'aspiration d'une tête de retournement et une buse d'aspiration d'une tête de fourniture sont remplacées. Le dispositif de fourniture de puce selon l'invention comprend : la tête de retournement qui est pourvue d'une première unité de montage de buse apte à monter et démonter une première buse d'aspiration et utilise la première buse d'aspiration pour aspirer une puce à partir d'un corps de puces obtenu par découpage en dés d'une tranche ; un mécanisme de retournement qui retourne la tête de retournement pour retourner le côté avant et le côté arrière de la puce aspirée par la première buse d'aspiration ; une tête de fourniture qui est pourvue d'une seconde unité de montage de buse apte à monter et démonter une seconde buse d'aspiration et utilise la seconde buse d'aspiration pour aspirer la puce retournée par la tête de retournement et fournir la puce aspirée par la seconde buse d'aspiration ; et une station de buses qui reçoit à la fois la première buse d'aspiration pour le remplacement et la seconde buse d'aspiration pour le remplacement. フリップヘッドの吸着ノズルと、供給ヘッドの吸着ノズルを交換するダイ供給装置において、交換用のノズルを管理する負担を軽減できるダイ供給装置を提供すること。 ダイ供給装置は、第１吸着ノズルを着脱可能な第１ノズル装着部を備え、ウェハをダイシングしたダイ集合体から第１吸着ノズルによってダイを吸着するフリップヘッドと、フリップヘッドを反転させ、第１吸着ノズルに吸着したダイの表裏を入れ替える反転機構と、第２吸着ノズルを着脱可能な第２ノズル装着部を備え、フリップヘッドが