UNIFORM COATING OF A HOLLOW OBJECT AND METHOD THEREFOR

The current invention relates to a method for PVD coating an internal surface of a hollow object, wherein the internal surface of the hollow object defines an internal volume, the method comprising the steps of: providing a cylindrical electrode having a radial outer surface, said cylindrical electr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: KRUMPMANN, Arnaud, HEMBERG, Axel, GODFROID, Thomas
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The current invention relates to a method for PVD coating an internal surface of a hollow object, wherein the internal surface of the hollow object defines an internal volume, the method comprising the steps of: providing a cylindrical electrode having a radial outer surface, said cylindrical electrode comprising a target material, wherein said radial outer surface comprises said target material, within the internal volume of the hollow object, preferably coaxially positioned for a uniform coating, wherein said cylindrical electrode and said internal surface of the hollow object are separated by an average distance De,s of at least 0.5 mm and at most 20 mm; and generating an electric field between the cylindrical electrode and the internal surface of the hollow object, wherein a product of a working pressure and the average distance De,s lies between 0.01 Torr.cm and 10 Torr.cm. La présente invention concerne un procédé de revêtement par dépôt physique en phase vapeur (PVD) d'une surface interne d'un objet creux, la surface interne de l'objet creux définissant un volume interne, le procédé comprenant les étapes de : fourniture d'une électrode cylindrique ayant une surface externe radiale, ladite électrode cylindrique comprenant un matériau cible, ladite surface externe radiale comprenant ledit matériau cible, à l'intérieur du volume interne de l'objet creux, de préférence positionné de manière coaxiale pour un revêtement uniforme, ladite électrode cylindrique et ladite surface interne de l'objet creux étant séparées par une distance moyenne De,s d'au moins 0,5 mm et d'au plus 20 mm ; et génération d'un champ électrique entre l'électrode cylindrique et la surface interne de l'objet creux, un produit d'une pression de travail et de la distance moyenne De,s étant compris entre 0,01 Torr.cm et 10 Torr.cm.