A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND INSPECTION SYSTEM WITH HYBRID FREE SPACE OPTICS AND PHOTONIC INTEGRATED CIRCUITS

A lithographic apparatus includes a projection system and an inspection system that includes a radiation system, a photonic integrated circuit system, and a detector system. The projection system projects an image of a patterning device onto a substrate. The radiation system directs radiation toward a target on the substrate to generate scattered radiation from the target. The radiation system includes a radiation source to generate radiation and an optical system to focus the radiation on the target. The photonic integrated circuit system includes a waveguide system integrated on a board and a radiation coupler disposed at a waveguide of the waveguide system. The radiation coupler launches at least a portion of the scattered radiation into the waveguide system. The detector system receives the scattered radiation from the waveguide system and generates a measurement signal based on the scattered radiation. Un appareil lithographique comprend un système de projection et un système d'inspection qui comporte un système de rayonnement, un système de circuit photonique intégré et un système de détecteur. Le système de projection projette une image d'un dispositif de formation de motifs sur un substrat. Le système de rayonnement dirige un rayonnement vers une cible sur le substrat pour générer un rayonnement diffusé à partir de la cible. Le système de rayonnement comprend une source de rayonnement pour générer un rayonnement et un système optique pour focaliser le rayonnement sur la cible. Le système de circuit photonique intégré comprend un système de guide d'ondes intégré sur une carte et un coupleur de rayonnement disposé au niveau d'un guide d'ondes du système de guide d'ondes. Le coupleur de rayonnement lance au moins une partie du rayonnement diffusé dans le système de guide d'ondes. Le système de détecteur reçoit le rayonnement diffusé provenant du système de guide d'ondes et génère un signal de mesure sur la base du rayonnement diffusé.