PLASMA TREATMENT DEVICE AND PLASMA TREATMENT METHOD

In a plasma treatment device using ECR according to the present disclosure, information including the position and shape parameters of an ECR surface is used as an input value to a control device of the plasma treatment device. The information of the ECR surface shape that can be input from an input device of the plasma treatment device to the control device is limited by a discharge stability criterion determined separately. When the discharge stability criterion is satisfied, a plurality of coil current value candidates are extracted from a database including relationships between a plurality of coil current values and ECR surface shape information, and a plurality of coil current values to be input to a plurality of coils are determined from among the plurality of coil current value candidates according to a coil current selection criterion. Dans un dispositif de traitement au plasma utilisant l'ECR selon la présente divulgation, des informations comprenant les paramètres de position et de forme d'une surface ECR sont utilisées en tant que valeur d'entrée dans un dispositif de commande du dispositif de traitement au plasma. Les informations de la forme de surface ECR qui peuvent être entrées depuis un dispositif d'entrée du dispositif de traitement au plasma vers le dispositif de commande sont limitées par un critère de stabilité de décharge déterminé séparément. Lorsque le critère de stabilité de décharge est satisfait, une pluralité de valeurs de courant de bobine candidates sont extraites d'une base de données comprenant des relations entre une pluralité de valeurs de courant de bobine et des informations de forme de surface ECR, et une pluralité de valeurs de courant de bobine à entrer dans une pluralité de bobines sont déterminées parmi la pluralité de valeurs de courant de bobine candidates selon un critère de sélection de courant de bobine. 本開示は、ＥＣＲを用いるプラズマ処理装置において、ＥＣＲ面の位置や形状のパラメータを含む情報をプラズマ処理装置の制御装置への入力値とする。プラズマ処理装置の入力装置から制御装置に入力可能なＥＣＲ面形状の情報は別で定められる放電安定基準によって制限される。放電安定基準を満たす場合、複数のコイル電流値とＥＣＲ面形状情報の関係を含むデータベースから複数のコイル電流値の候補を抽出し、その複数のコイル電流値の候補の中からコイル電流選定基準に従って複数のコイルに入力する複数のコイル電流値を決定する。