REDUCED VOLUME DEMULTIPLEXER SYSTEMS AND METHODS

A metrology system is described. Metasurfaces are used to replace (or to augment) an existing demultiplexer to reduce the volume of the demultiplexer in the metrology system. A metasurface is configured to receive a diffracted radiation beam from a radiation source, and separate the beam into a narrower band sub-beam of radiation having a modified wavelength range, amplitude, pulse frequency, pulse time, polarization state or states, angular content, and/or spatial content in comparison to an incident wavelength range, amplitude, pulse frequency, pulse time, polarization state or states, angular content, and/or spatial content. L'invention concerne un système de métrologie. Des métasurfaces sont utilisées pour remplacer (ou pour améliorer) un démultiplexeur existant pour réduire le volume du démultiplexeur dans le système de métrologie. Une métasurface est conçue pour recevoir un faisceau de rayonnement diffracté en provenance d'une source de rayonnement et pour séparer le faisceau en un sous-faisceau de rayonnement de bande plus étroite ayant une plage de longueurs d'onde, une amplitude, une fréquence d'impulsion, un temps d'impulsion, un état ou des états de polarisation, un contenu angulaire et/ou un contenu spatial modifiés par rapport à une plage de longueurs d'onde, une amplitude, une fréquence d'impulsion, un temps d'impulsion, un état ou des états de polarisation, un contenu angulaire et/ou un contenu spatial incidents.