AFE (ACTIVE FAR EDGE) HEATER/BI POLAR ESC WITH SIMPLIFIED AND OPTIMIZED STRUCTURE FOR GREATER RELIABILITY, LOWER COST AND BETTER MANUFACTURABILITY

A method and apparatus for a substrate support, comprising a ceramic body, at least one heater, at least one chucking electrode, and a unitary plasma support structure comprising an electrical connection portion, at least one electrical distribution portion, and annular electrode connected to the el...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	ROCHA-ALVAREZ, Juan Carlos, LI, Jian
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A method and apparatus for a substrate support, comprising a ceramic body, at least one heater, at least one chucking electrode, and a unitary plasma support structure comprising an electrical connection portion, at least one electrical distribution portion, and annular electrode connected to the electrical connection portion by the at least one electrical distribution portion, the electrical connection portion, at least one electrical distribution portion, and annular electrode configured of a unitary sheet of a conductive fiber mesh. L'invention concerne un procédé et un appareil pour un support de substrat, comprenant un corps en céramique, au moins un dispositif de chauffage, au moins une électrode de serrage et une structure de support de plasma unitaire comprenant une partie de connexion électrique, au moins une partie de distribution électrique et une électrode annulaire connectée à la partie de connexion électrique par l'au moins une partie de distribution électrique, la partie de connexion électrique, au moins une partie de distribution électrique et une électrode annulaire constituée d'une feuille unitaire d'un maillage de fibres conductrices.