DEVICE MANAGEMENT SYSTEM AND DEVICE MANAGEMENT METHOD

Provided is a system for managing a device for imaging a wafer and outputting a length measurement value of a pattern, the system comprising an index value prediction model generation unit for generating a model for outputting a prediction index value of input image data by using training data including first and second learning data sets. The first learning data set is generated by associating the same first index value with a plurality of sets of first image data obtained by respectively imaging a first wafer by devices of a first device group in which a length measurement value difference for the same wafer is equal to or less than a prescribed reference value. After each device of the first device group is adjusted so that the index value changes from the first index value by a prescribed value, a second learning data set is generated by associating a second index value, which is a value changed by a prescribed value from the first index value, with a plurality of sets of second image data obtained by imaging the first wafer by using the adjusted devices. Thereby, each device can be managed without being affected by the individual differences between the plurality of devices. L'invention concerne un système de gestion d'un dispositif d'imagerie d'une tranche et de délivrance d'une valeur de mesure de longueur d'un motif, le système comprenant une unité de génération de modèle de prédiction de valeur d'indice servant à générer un modèle de délivrance d'une valeur d'indice de prédiction de données d'image d'entrée à l'aide de données d'apprentissage comprenant des premier et second ensembles de données d'apprentissage. Le premier ensemble de données d'apprentissage est généré par association de la même première valeur d'indice à une pluralité d'ensembles de premières données d'image obtenues par l'imagerie correspondante d'une première tranche par des dispositifs d'un premier groupe de dispositifs dans lequel une différence de valeur de mesure de longueur pour la même tranche est inférieure ou égale à une valeur de référence prédéfinie. Après réglage de chaque dispositif du premier groupe de dispositifs de telle sorte que la valeur d'indice est modifiée par une valeur prédéfinie par rapport à la première valeur d'indice, un second ensemble de données d'apprentissage est généré par association d'une seconde valeur d'indice, qui est une valeur modifiée par une valeur prédéfinie par rapport à la première valeur d'indice, avec une pluralité d'ensembles de se