VIBRATION SENSING FOR MACHINING A WORKPIECE WITH A LIQUID-JET-GUIDED LASER BEAM

This disclosure relates to an apparatus for machining a workpiece with a laser beam guided by a liquid jet. The apparatus comprises a nozzle for producing the liquid jet, at least one lens for coupling the laser beam into the liquid jet, and a housing enclosing at least the nozzle and having an aperture for providing the liquid jet onto the workpiece. A vibration sensor of the apparatus is attached to the housing, and is configured to measure at least a first vibration of the housing and/or a second vibration of the housing, the first vibration being caused by machining the workpiece, and the second vibration being caused by the liquid jet. Further, a processor of the apparatus is configured to determine, based on the first vibration and/or the second vibration, a first set of parameters related to machining the workpiece and/or a second set of parameters related to the liquid jet. La présente divulgation concerne un appareil pour usiner une pièce à l'aide d'un faisceau laser guidé par un jet de liquide. L'appareil comprend une buse pour produire le jet de liquide, au moins une lentille pour coupler le faisceau laser dans le jet de liquide, et un boîtier renfermant au moins la buse et ayant une ouverture pour fournir le jet de liquide sur la pièce. Un capteur de vibrations de l'appareil est fixé au boîtier, et est conçu pour mesurer au moins une première vibration du boîtier et/ou une seconde vibration du boîtier, la première vibration étant provoquée par l'usinage de la pièce, et la seconde vibration étant provoquée par le jet de liquide. En outre, un processeur de l'appareil est conçu pour déterminer, sur la base de la première vibration et/ou de la seconde vibration, un premier ensemble de paramètres associés à l'usinage de la pièce et/ou un second ensemble de paramètres associés au jet de liquide.