EXCIMER LASER WITH IMPROVED BEAM UNIFORMITY AND STABILITY

An excimer laser (100) includes a chamber (110) for containing a gas mixture between a rear end (120) and a front end (130) of a linear laser resonator (102), a convex end-mirror (122) defining the rear end (120), and a plurality of output- coupling mirrors collectively defining the front end (130). The output-coupling mirrors are distributed along an optical axis (190) of the resonator (102) and have respective normal vectors (nR and nF) pointing toward the rear end (120). The normal vectors (nR and nF) include four mutually non-parallel normal vectors, wherein no three of the four mutually non-parallel normal vectors are coplanar. These different orientations of the output-coupling mirrors cooperate with the convex end-mirror (122) to blur fine structure in the output beam (182) of the resonator (102). L'invention concerne un laser excimère (100) comprenant une chambre (110) destinée à contenir un mélange gazeux entre une extrémité arrière (120) et une extrémité avant (130) d'un résonateur laser linéaire (102), un miroir d'extrémité convexe (122) définissant l'extrémité arrière (120), et une pluralité de miroirs de couplage de sortie définissant collectivement l'extrémité avant (130). Les miroirs de couplage de sortie sont répartis le long d'un axe optique (190) du résonateur (102) et ont des vecteurs normaux respectifs (nR et nF) pointant vers l'extrémité arrière (120). Les vecteurs normaux (nR et nF) comprennent quatre vecteurs normaux mutuellement non parallèles, trois des quatre vecteurs normaux mutuellement non parallèles étant coplanaires. Ces différentes orientations des miroirs de couplage de sortie coopèrent avec le miroir d'extrémité convexe (122) pour rendre floue la structure fine dans le faisceau de sortie (182) du résonateur (102).