CORRECTING FOR GRID DISTORTION

A method for operating a charged particle-optical apparatus, the method comprising: scanning, with the charged particle-optical apparatus, a sample comprising a series of locations with a charged particle beam, so as to generate scan data; changing a setting of at least one charged particle-optical parameter of the charged particle-optical apparatus from location to location, wherein the at least one charged particle-optical parameter affects a charged particle-optical grid distortion of the scan data; and compensating for the charged particle-optical grid distortion, based on the changed setting of the at least one charged particle-optical parameter. L'invention concerne un procédé de fonctionnement d'un appareil optique à particules chargées, le procédé consistant à : balayer, avec l'appareil optique à particules chargées, un échantillon comprenant une série d'emplacements avec un faisceau de particules chargées, de façon à générer des données de balayage ; changer un réglage d'au moins un paramètre optique de particules chargées de l'appareil optique à particules chargées d'un emplacement à un emplacement, l'au moins un paramètre optique de particules chargées affectant une distorsion de réseau optique à particules chargées des données de balayage ; et compenser la distorsion de réseau optique à particules chargées, sur la base du réglage modifié de l'au moins un paramètre optique de particules chargées.