ORIFICE SURROUNDED LOW PRESSURE HYDROXYL COMBUSTION

Systems and methods for hydroxyl driven combustion include introducing a first gas via at least a first orifice into a processing chamber having a substrate disposed on a substrate support. A second gas is introduced into the processing chamber via a plurality of second orifices. The plurality of first orifices and the plurality of second orifices are oriented in an alternating pattern such that each second orifice of the plurality of second orifices is at least partially surrounded by at least a first orifice of the plurality of first orifices. A radical is produced as a function of the first gas and the second gas while heating the chamber. L'invention concerne des systèmes et des procédés de combustion entraînée par hydroxyle qui consistent à introduire un premier gaz par le biais d'au moins un premier orifice dans une chambre de traitement comportant un substrat disposé sur un support de substrat. Un second gaz est introduit dans la chambre de traitement par le biais d'une pluralité de seconds orifices. La pluralité de premiers orifices et la pluralité de seconds orifices sont orientés selon un motif alterné de telle sorte que chaque second orifice de la pluralité de seconds orifices soit au moins partiellement entouré par au moins un premier orifice de la pluralité de premiers orifices. Un radical est produit en fonction du premier gaz et du second gaz tout en chauffant la chambre.