GAS ANALYZER APPARATUS

A gas analyzer apparatus (1) comprises a sample chamber (40) into which a sample gas (9) to be measured flows, a plasma generator circuit (10) for generate a plasma (8) in the sample chamber (40), and an analyzer 30 for analyzing the sample gas via the plasma (8) generated in the sample chamber. the plasma generator circuit (10) includes a plasma inducing circuit (13) and an RF power supply circuit (11) that is configured to supply RF power to the plasma inducing circuit. The plasma inducing circuit is integrated directly as at least a part of resonant components of the RF power supply circuit. L'invention concerne un appareil d'analyse de gaz (1) qui comprend une chambre d'échantillon (40) dans laquelle s'écoule un échantillon de gaz (9) à mesurer, un circuit de générateur de plasma (10) pour générer un plasma (8) dans la chambre d'échantillon (40), et un analyseur (30) pour analyser l'échantillon de gaz par le biais du plasma (8) généré dans la chambre d'échantillon. Le circuit générateur de plasma (10) comprend un circuit d'induction de plasma (13) et un circuit d'alimentation électrique RF (11) qui est configuré pour fournir de l'énergie RF au circuit d'induction de plasma. Le circuit d'induction de plasma est intégré directement en tant qu'au moins une partie des composants résonants du circuit d'alimentation électrique RF.