LASER ABLATION ICP ANALYSIS METHOD AND ANALYSIS DEVICE

The present invention provides a laser ablation ICP analysis method in which a laser beam is emitted onto an analysis sample to generate an analysis sample aerosol by micronizing the analysis sample, and the analysis sample aerosol is recovered and subjected to inductively coupled plasma mass spectrometry, the method being characterized in that: a non-sealed chamber having a bottom plate provided with an opening and a quartz glass window in a position facing the opening is disposed such that the opening is in close proximity to a surface of the analysis sample; a chamber inert gas is introduced into the non-sealed chamber to obtain a chamber inert gas atmosphere inside the non-sealed chamber, and to achieve a state in which the chamber inert gas leaks out from the opening; the laser beam is emitted toward the opening to generate the analysis sample aerosol; and the analysis sample aerosol is discharged from the non-sealed chamber together with the chamber inert gas by means of suction using an ejector, a nebulizer or a vacuum pump, and is subjected to inductively coupled plasma mass spectrometry. La présente invention concerne un procédé d'analyse ICP d'ablation laser dans lequel un faisceau laser est émis sur un échantillon d'analyse afin de générer un aérosol d'échantillon d'analyse par micronisation de l'échantillon d'analyse, et l'aérosol d'échantillon d'analyse est récupéré et soumis à une spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif, le procédé étant caractérisé en ce que : une chambre non scellée comportant une plaque inférieure pourvue d'une ouverture et une fenêtre en verre de quartz dans une position faisant face à l'ouverture est disposée de telle sorte que l'ouverture est à proximité étroite d'une surface de l'échantillon d'analyse ; un gaz inerte de chambre est introduit dans la chambre non scellée afin d'obtenir une atmosphère de gaz inerte de chambre à l'intérieur de la chambre non scellée, et afin d'obtenir un état dans lequel le gaz inerte de chambre fuit de l'ouverture ; le faisceau laser est émis vers l'ouverture afin de générer l'aérosol d'échantillon d'analyse ; et l'aérosol d'échantillon d'analyse est évacué de la chambre non scellée conjointement avec le gaz inerte de chambre au moyen d'une aspiration à l'aide d'un éjecteur, d'un nébuliseur ou d'une pompe à vide, et est soumis à une spectrométrie de masse à plasma à couplage inductif. 本発明は、分析試料にレーザー光を照射し、分析試料を微粒子化した分析試料エアロゾルを生成し、分析試料エアロゾルを回収して誘導結合プラズマ質量分析するレーザーアブレーションＩＣＰ分析方法にお