TEMPERATURE CONTROL MEMBER AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE

This temperature control member is formed of an electrically conductive ceramic, and has a flow path through which a heating medium flows. The electrically conductive ceramic contains a highly thermally conductive material and an electrically conductive material. The volume ratio of the highly thermally conductive material and the electrically conductive material is 10:90 to 90:10. The coefficient of thermal expansion of the electrically conductive ceramic at 800°C is at most 10×10-6/K. Cet élément de régulation de température est formé d'une céramique électriquement conductrice, et a un trajet d'écoulement à travers lequel s'écoule un milieu chauffant. La céramique électroconductrice contient un matériau hautement thermoconducteur et un matériau électroconducteur. Le rapport volumique du matériau hautement thermoconducteur et du matériau électroconducteur est de 10 : 90 à 90 : 10. Le coefficient de dilatation thermique de la céramique électriquement conductrice à 800°C est d'au plus 10 × 10 -6 /K 導電性セラミックスを形成材料とする温度制御部材であって、内部に熱媒体を流動させる流路を有し、導電性セラミックスは、高熱伝導性材料と導電性材料とから構成され、高熱伝導性材料と導電性材料の体積比率が１０：９０～９０：１０であり、導電性セラミックスの８００℃における熱膨張係数が１０×１０－６／Ｋ以下である温度制御部材。