CCP GAS DELIVERY NOZZLE
Example structures, methods, and systems for additive manufacturing of components of source and gas delivery nozzle assembly are disclosed. One example structure includes a unitary gas distribution nozzle assembly that includes an upper electrode portion and a lower electrode portion joined by multi...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | Example structures, methods, and systems for additive manufacturing of components of source and gas delivery nozzle assembly are disclosed. One example structure includes a unitary gas distribution nozzle assembly that includes an upper electrode portion and a lower electrode portion joined by multiple joining structures, and one or more gas zone divider walls positioned between the upper electrode portion and the lower electrode portion. The unitary gas distribution nozzle assembly is of a single material. Each of the multiple joining structures is positioned between the upper electrode portion and the lower electrode portion. Each of the multiple joining structures is configured to transfer radio-frequency (RF) energy and thermal energy between the upper electrode portion and the lower electrode portion. The one or more gas zone divider walls are configured to separate a region between the upper electrode portion and the lower electrode portion into two or more plenum chambers.
L'invention concerne des exemples de structures, de procédés et de systèmes de fabrication additive de composants d'ensemble buse de distribution de source et de gaz. Une structure donnée à titre d'exemple comprend un ensemble buse de distribution de gaz unitaire qui comprend une partie d'électrode supérieure et une partie d'électrode inférieure reliées par de multiples structures de jonction, et une ou plusieurs parois de séparation de zone de gaz positionnées entre la partie d'électrode supérieure et la partie d'électrode inférieure. L'ensemble buse de distribution de gaz unitaire est constitué d'un seul matériau. Chacune des multiples structures de jonction est positionnée entre la partie d'électrode supérieure et la partie d'électrode inférieure. Chacune des multiples structures de jonction est configurée pour transférer de l'énergie radiofréquence (RF) et de l'énergie thermique entre la partie d'électrode supérieure et la partie d'électrode inférieure. L'une ou plusieurs parois de séparation de zone de gaz sont configurées pour séparer une région entre la partie d'électrode supérieure et la partie d'électrode inférieure en deux chambres de plénum ou plus. |
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