CONTOUR SHAPE MEASURING DEVICE AND METHOD

The present invention provides a contour shape measuring device and method for measuring a contour shape of a disk-shaped measurement target object having a beveled peripheral edge portion, wherein: the contour shape is measured as a shadow contour shape on the basis of a shadow image obtained by imaging a shadow of the peripheral edge portion generated by shining light onto the peripheral edge portion from a tangential direction of an outer periphery; the contour shape of the peripheral edge portion is measured as an optical contour shape by using light to measure a distance to the measurement target object from a surface direction; and the contour shape is obtained on the basis of the shadow contour shape and the optical contour shape. La présente invention concerne un dispositif et un procédé de mesure de forme de contour permettant de mesurer une forme de contour d'un objet cible de mesure en forme de disque ayant une partie de bord périphérique biseautée, la forme de contour étant mesurée sous la forme d'une forme de contour d'ombre sur la base d'une image d'ombre obtenue par l'imagerie d'une ombre de la partie de bord périphérique générée par l'éclairage d'une lumière sur la partie de bord périphérique à partir d'une direction tangentielle d'une périphérie externe ; la forme de contour de la partie de bord périphérique est mesurée sous la forme d'une forme de contour optique à l'aide d'une lumière pour mesurer une distance jusqu'à l'objet cible de mesure à partir d'une direction de surface ; et la forme de contour est obtenue sur la base de la forme de contour d'ombre et de la forme de contour optique. 本発明は、周縁部をベベル加工された円板状の測定対象における輪郭形状を測定する輪郭形状測定装置および該方法であって、前記周縁部に外周の接線方向から光を当てることによって生じる前記周縁部の影を撮像した影画像に基づいて前記輪郭形状を影輪郭形状として測定し、面方向から光を用いて前記測定対象までの距離を測定することによって前記周縁部の前記輪郭形状を光輪郭形状として測定し、これら影輪郭形状および光輪郭形状に基づいて前記輪郭形状を求める。