INSPECTION DEVICE

Provided is an inspection device for calculating a distance (height information) from a reference surface of an object to be inspected to a prescribed surface of a component attached to the object to be inspected, on the basis of three-dimensional image data of the object to be inspected. A control...

Ausführliche Beschreibung

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Hauptverfasser: WEI Xinfa, NAGOSHI MURATA Hiroyuki
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is an inspection device for calculating a distance (height information) from a reference surface of an object to be inspected to a prescribed surface of a component attached to the object to be inspected, on the basis of three-dimensional image data of the object to be inspected. A control unit 10 of an inspection device 1 executes: a first step for generating three-dimensional image data comprising a cross-sectional image of an object 12 to be inspected; a second step for extracting a prescribed number of cross-sectional image data from the prescribed reference surface; a third step for determining the position of a component (slave component 12d) in the extracted cross-sectional image data; a fourth step for calculating the amount of blurriness in the outline of the image of the slave component 12d in the extracted cross-sectional image data, and determining the position of a prescribed surface 12f of the slave component 12d; and a fifth step for calculating height information from the reference surface to the prescribed surface on the basis of the position of the reference surface and the position of the prescribed surface. L'invention concerne un dispositif d'inspection permettant de calculer une distance (informations de hauteur) entre une surface de référence d'un objet à inspecter et une surface prescrite d'un composant fixé à l'objet à inspecter, sur la base de données d'image tridimensionnelle de l'objet à inspecter. Une unité de commande (10) d'un dispositif d'inspection (1) exécute : une première étape de génération de données d'image tridimensionnelles comprenant une image en coupe transversale d'un objet à inspecter (12) ; une deuxième étape d'extraction d'un nombre prescrit de données d'image en coupe transversale à partir de la surface de référence prescrite ; une troisième étape de détermination de la position d'un composant (composant esclave [12d]) dans les données d'image en coupe transversale extraites ; une quatrième étape de calcul du degré de flou du contour de l'image du composant esclave (12d) dans les données d'image en coupe extraites, et de détermination de la position d'une surface prescrite (12f) du composant esclave (12d) ; et une cinquième étape de calcul des informations de hauteur de la surface de référence à la surface prescrite sur la base de la position de la surface de référence et de la position de la surface prescrite. 被検査体の3次元画像データに基づいて、被検査体の基準面からこの被検査体に取り付けられている部品の所定の面までの距離(高さ情報)を算出する検査装置を提供する。 検査装置1の制御部10