PEDESTAL ASSEMBLY

A pedestal assembly is disclosed. In at least one implementation, pedestal assembly comprises a pedestal that comprises a platen and a stem attached to the platen. An adapter tube is attached to the stem. In at least one implementation, cooling collar is coupled to the adapter tube. A transition conduit is coupled to the cooling collar. In at least one implementation, an electrical enclosure is coupled to the transition conduit. In at least one implementation, electrical enclosure comprises a radio frequency (RF) connector block and a heater connector block. In at least one implementation, the RF connector block is coupled to the platen. In at least one implementation, the heater connector block is coupled to the platen. L'invention divulgue un ensemble socle. Selon au moins un mode de réalisation, l'ensemble socle comprend un socle comportant un plateau et une tige fixée au plateau. Un tube adaptateur est fixé à la tige. Selon au moins un mode de réalisation, le collier de refroidissement est accouplé au tube adaptateur. Un conduit de transition est accouplé au collier de refroidissement. Selon au moins un mode de réalisation, une enceinte électrique est accouplée au conduit de transition. Selon au moins un mode de réalisation, l'enceinte électrique comprend un bloc connecteur radiofréquence (RF) et un bloc connecteur d'élément chauffant. Selon au moins un mode de réalisation, le bloc connecteur RF est accouplé au plateau. Selon au moins un mode de réalisation, le bloc connecteur d'élément chauffant est accouplé au plateau.