PROTECTIVE DIELECTRIC LAYERS FOR ENHANCING RELIABILITY OF VACUUM ULTRAVIOLET LAMPS

Vacuum ultraviolet (VUV) lamps are provided having an ultraviolet radiation chamber that generates ultraviolet photons with a gas selected from the group consisting of: argon (Ar), krypton (Kr), xenon (Xe), and combinations thereof. A transmissive window is disposed adjacent to the ultraviolet radiation chamber and permits ultraviolet photons to pass therethrough. The transmissive window comprises a primary layer of a first material selected from the group consisting of: magnesium fluoride, calcium fluoride, lithium fluoride, and combinations thereof. At least one protective layer comprises a transmissive dielectric material selected from the group consisting of: silicon dioxide (SiO2), silicon nitride (Si3N4), aluminum oxide (Al2O3), and combinations thereof. Methods of making the VUV lamps, as well as regenerable VUV lamps with a regenerator component, such as a heater or deep ultraviolet (DUV) radiation source are also provided. The VUV lamps may be incorporated into photoionization detectors (PIDs), including microfabricated microfluidic PIDs. L'invention concerne des lampes à ultraviolet sous vide (VUV) ayant une chambre de rayonnement ultraviolet qui génère des photons ultraviolets avec un gaz sélectionné parmi le groupe constitué : de l'argon (Ar), du krypton (Kr), du xénon (Xe), et des combinaisons de ceux-ci. Une fenêtre transmissive est disposée de manière adjacente à la chambre de rayonnement ultraviolet et permet à des photons ultraviolets de la traverser. La fenêtre transmissive comprend une couche primaire d'un premier matériau sélectionné parmi le groupe constitué : du fluorure de magnésium, du fluorure de calcium, du fluorure de lithium, et des combinaisons de ceux-ci. Au moins une couche protectrice comprend un matériau diélectrique transmissif sélectionné parmi le groupe constitué : du dioxyde de silicium (SiO2), du nitrure de silicium (Si3N4), de l'oxyde d'aluminium (Al2O3), et des combinaisons de ceux-ci. L'invention concerne également des procédés de fabrication des lampes VUV, ainsi que des lampes VUV aptes à être régénérées avec un composant régénérateur, tel qu'un élément chauffant ou une source de rayonnement d'ultraviolet profond (DUV). Les lampes VUV peuvent être incorporées dans des détecteurs de photo-ionisation (PID), y compris des PID microfluidiques microfabriqués.