EMBEDDED MICROLENS

Embodiments described herein relate to a photonic device having a microlens and micromirror embedded therein and methods of fabricating such a device. An example photonic device comprises a substrate; a buried oxide (BOX) layer disposed over the substrate; a waveguide layer disposed over the BOX layer, the waveguide layer comprising a waveguide; a micromirror arranged in at least a portion of the waveguide layer; a cladding disposed over the waveguide layer; and a lens layer disposed over the cladding, the lens layer having a microlens aligned with the micromirror. Des modes de réalisation de la présente invention concernent un dispositif photonique ayant une microlentille et un micromiroir intégré dans celle-ci, ainsi que des procédés de fabrication d'un tel dispositif. Un exemple de dispositif photonique comprend un substrat ; une couche d'oxyde enterrée (BOX) disposée sur le substrat ; une couche de guide d'ondes disposée sur la couche BOX, la couche de guide d'ondes comprenant un guide d'ondes ; un micromiroir disposé dans au moins une partie de la couche de guide d'ondes ; une gaine disposée sur la couche de guide d'ondes ; et une couche de lentille disposée sur la gaine, la couche de lentille ayant une microlentille alignée avec le micromiroir.