FIXTURE FOR FLUSHING CONTAMINANTS FROM PEDESTALS

A fixture for cleaning a pedestal of a substrate processing system includes first and second portions of the fixture, a plurality of fasteners, and an adapter. The first portion is configured to couple to a first surface of a base portion of the pedestal. The first portion includes a first port configured to fluidly connect with a plenum in the base portion of the pedestal. The second portion is configured to couple to a second surface of the base portion of the pedestal. The fasteners are configured to fasten the first and second portions of the fixture to clamp the base portion of the pedestal between the first and second portions of the fixture. The adapter is configured to couple to a conduit in a stem portion of the pedestal. The adapter includes a second port configured to fluidly connect with the plenum via the conduit. Un dispositif de fixation pour nettoyer un socle d'un système de traitement de substrat comprend des première et seconde parties du dispositif de fixation, une pluralité d'attaches, et un adaptateur. La première partie est configurée pour se coupler à une première surface d'une partie de base du socle. La première partie comprend un premier orifice conçu pour être en communication fluidique avec un plénum dans la partie de base du socle. La seconde partie est configurée pour se coupler à une seconde surface de la partie de base du socle. Les attaches sont configurées pour attacher les première et seconde parties du dispositif de fixation pour serrer la partie de base du socle entre les première et seconde parties du dispositif de fixation. L'adaptateur est conçu pour se coupler à un conduit dans une partie tige du socle. L'adaptateur comprend un second orifice conçu pour être en communication fluidique avec le plénum via le conduit.