METAL MASK BASE MATERIAL, PRODUCTION METHOD FOR METAL MASK BASE MATERIAL, AND PRODUCTION METHOD FOR METAL MASK

This metal mask base material is constituted by an iron-nickel-based alloy. The metal mask base material exhibits a KAM value of not less than 2.18° as obtained by an electron backscatter diffraction method in which a step size is set to 0.5 μm and a crystal grain boundary is considered to be a boundary where the difference in crystal orientation is not less than 5°. The metal mask base material has a thickness of 10-30 μm. Le matériau de base de masque métallique selon la présente demande est constitué d'un alliage à base de fer-nickel. Le matériau de base de masque métallique présente une valeur KAM supérieure ou égale à 2,18°, telle qu'obtenue par un procédé de diffraction par rétrodiffusion d'électrons dans lequel la taille du pas est fixée à 0,5 µm et un joint de grain cristallin est considéré comme un joint où la différence d'orientation cristalline n'est pas inférieure à 5°. Le matériau de base de masque métallique présente une épaisseur de 10 à 30 µm. メタルマスク用基材は、鉄-ニッケル系合金から構成される。メタルマスク用基材では、ステップサイズを０．５μｍに設定し、かつ、結晶方位の差が５°以上である境界を結晶粒界とみなす場合において、電子線後方散乱回折法によって得られたＫＡＭ値が２．１８°以上である。メタルマスク用基材は、１０μｍ以上３０μｍ以下の厚さを有する。