PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, CURED FILM, ELECTRONIC DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD

This photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin (A), a polyether-modified polydimethylsiloxane (B), a solvent (C), and a photosensitizer (D). The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of the polyether-modified polydimethylsiloxane (B) as measured by gel p...

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Hauptverfasser: HORII Makoto, HIROSAWA Ryuji, SUZUKI Sakiko
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:This photosensitive resin composition contains an alkali-soluble resin (A), a polyether-modified polydimethylsiloxane (B), a solvent (C), and a photosensitizer (D). The polystyrene-equivalent weight average molecular weight (Mw) of the polyether-modified polydimethylsiloxane (B) as measured by gel permeation chromatography is 1000-5000. Cette composition de résine photosensible contient une résine soluble dans les alcalis (A), un polydiméthylsiloxane modifié par polyéther (B), un solvant (C) et un photosensibilisateur (D). Le poids moléculaire moyen en poids équivalent de polystyrène (Mw) du polydiméthylsiloxane modifié par polyéther (B) tel que mesuré par chromatographie par perméation de gel est de 1000 à 5000. アルカリ可溶性樹脂(A)と、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン(B)と、溶剤(C)と、感光剤(D)とを含み、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン(B)の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって測定される、ポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)が1000以上5000以下である、感光性樹脂組成物。