DATA TRANSFER APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS, AND ELECTRONIC DEVICE

This data transfer apparatus is used in an exposure apparatus that controls a plurality of elements of a spatial light modulation element on the basis of rendering data and exposes a substrate. The data transfer apparatus comprises: a first processing unit that divides first data, which is the rendering data, to generate multiple pieces of second data, and transfers the multiple pieces of second data; a second processing unit that has a first storage unit having a first memory group including a plurality of first memories respectively storing the multiple pieces of second data transferred from the first processing unit, and transfers the second data from each of the plurality of first memories; and a third processing unit that has a second storage unit storing third data, which is the second data transferred from each of the plurality of first memories, and transfers the third data to the spatial light modulation element. Le présent appareil de transfert de données est utilisé dans un appareil d'exposition qui commande une pluralité d'éléments d'un élément de modulation spatiale de lumière sur la base de données de rendu et qui expose un substrat. L'appareil de transfert de données comprend : une première unité de traitement qui divise des premières données, celles-ci étant les données de rendu, pour générer de multiples éléments de deuxièmes données, et qui transfère les multiples éléments de deuxièmes données ; une deuxième unité de traitement qui comporte une première unité de stockage ayant un premier groupe mémoire comprenant une pluralité de premières mémoires stockant respectivement les multiples éléments de deuxièmes données transférées à partir de la première unité de traitement, et qui transfère les deuxièmes données à partir de chacune de la pluralité de premières mémoires ; et une troisième unité de traitement qui comporte une deuxième unité de stockage stockant des troisièmes données, celles-ci étant les deuxièmes données transférées à partir de chacune de la pluralité de premières mémoires, et qui transfère les troisièmes données à l'élément de modulation spatiale de lumière. データ転送装置は、描画データに基づいて空間光変調素子が有する複数の素子を制御して基板を露光する露光装置に用いられるデータ転送装置であって、前記描画データである第１データを分割して複数の第２データを生成し、前記複数の第２データを転送する第１処理部と、前記第１処理部から転送された前記複数の第２データをそれぞれ記憶する複数の第１メモリを含む第１メモリ群を有する第１記憶部を有し、前記複数の第１メモリの各々から前記第２データを転送する第２処理部と、前記複数の第１メモリの各々から転送された前記第２データである第３データを記憶する第２記憶部を有し、前記第３データを前記空間光変調素子に転送する第３処理部と、を備える。