STAGE

This stage includes: a first metal plate; a second metal plate positioned below the first metal plate and joined to the first metal plate; and a third metal plate positioned below the second metal plate and joined to the second metal plate. The first metal plate includes a first groove part exposed to the outside. The second metal plate includes a second groove part which is covered with the first metal plate and communicates with the first groove part and a third groove part which is covered with the third metal plate. The first groove part and the second groove part are gas flow paths. A heater is disposed in the third groove part. Cette estrade comprend : une première plaque métallique ; une deuxième plaque métallique positionnée en dessous de la première plaque métallique et reliée à la première plaque métallique ; et une troisième plaque métallique positionnée en dessous de la deuxième plaque métallique et reliée à la deuxième plaque métallique. La première plaque métallique comprend une première partie rainure exposée à l'extérieur. La deuxième plaque métallique comprend une deuxième partie rainure qui est recouverte par la première plaque métallique et communique avec la première partie rainure et une troisième partie rainure qui est recouverte par la troisième plaque métallique. La première partie rainure et la seconde partie rainure sont des trajets d'écoulement de gaz. Un dispositif de chauffage est placé dans la troisième partie rainure. ステージは、第１の金属プレートと、第１の金属プレートの下方に位置し、第１の金属プレートと接合する第２の金属プレートと、第２の金属プレートの下方に位置し、第２の金属プレートと接合する第３の金属プレートと、を含み、第１の金属プレートは、外部に露出される第１の溝部を含み、第２の金属プレートは、第１の金属プレートに覆われ、第１の溝部と連通している第２の溝部と、第３の金属プレートに覆われる第３の溝部と、を含み、第１の溝部および第２の溝部は、ガス流路であり、第３の溝部には、ヒータが配置される。