SYSTEM FOR CONTROLLING THE PROCESSING OF MICROELECTRONIC DEVICES

System and devices for monitoring and controlling the processing of a microelectronic substrate are disclosed. An aspect of the device comprises one or more clusters having sealed doors. Each of the sealed doors comprise a wet parts cabinet on a front side which is divided into a plurality of clusters and occupy one or more of chemical workstations which execute analytical applications. The sealed doors comprise an electrical cabinet on a back side for controlling the operation of the workstations. The sealed doors are configured to maintain a negative pressure in the wet parts cabinet and an overpressure in the electrical cabinet. The device also comprises a chemical cabinet for storing and providing the chemicals required for analytical applications running through the workstations. An interface of the device provides connectivity with a computing device for monitoring and controlling the analytical applications. L'invention concerne un système et des dispositifs de surveillance et de commande du traitement d'un substrat microélectronique. Un aspect du dispositif comprend un ou plusieurs groupes ayant des portes scellées. Chacune des portes scellées comprend une armoire de pièces humides sur un côté avant qui est divisé en une pluralité de groupes et occupe une ou plusieurs stations de travail chimiques qui exécutent des applications analytiques. Les portes scellées comprennent une armoire électrique sur un côté arrière pour commander le fonctionnement des stations de travail. Les portes scellées sont configurées pour maintenir une pression négative dans l'armoire de pièces humides et une surpression dans l'armoire électrique. Le dispositif comprend également une armoire chimique pour stocker et fournir les produits chimiques requis pour des applications analytiques s'étendant à travers les stations de travail. Une interface du dispositif fournit une connectivité avec un dispositif informatique pour surveiller et commander les applications analytiques.