LOAD PORT DEVICE AND EFEM

[Problem] To provide a load port device capable of maintaining a high degree of cleanliness of an atmosphere in a container, and an EFEM including the load port device. [Solution] A load port device 10 provided with a purge unit 16 for introducing purge gas into a container 2 in which a wafer W is accommodated, a frame 11 having an opening part 14 through which the wafer W can be introduced and removed, and a door part 15 which opens and closes the opening part 14 and holds a lid 4 of the container 2, wherein the door part 15 is provided with a movable plate 31 which moves relative to the door part 15 and can be disposed around the opening part 14. Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif formant orifice de chargement apte à préserver un degré élevé de propreté d'une atmosphère dans un récipient, et un EFEM comprenant le dispositif formant orifice de chargement. La solution consiste en un dispositif formant orifice de chargement 10 comprenant une unité de purge 16 servant à introduire un gaz de purge dans un récipient 2 dans lequel une tranche W est logée, un cadre 11 comportant une partie ouverture 14 à travers laquelle la tranche W peut être introduite et retirée, et une partie porte 15 qui ouvre et ferme la partie ouverture 14 et retient un couvercle 4 du récipient 2, la partie porte 15 étant pourvue d'une plaque mobile 31 qui se déplace par rapport à la partie porte 15 et peut être disposée autour de la partie ouverture 14. 【課題】容器内の雰囲気の清浄度を高い状態に維持することが可能なロードポート装置、および当該ロードポート装置を含むＥＦＥＭを提供すること。 【解決手段】ロードポート装置１０は、ウエハＷが収容される容器２の内部にパージガスを導入するパージ部１６と、ウエハＷを出し入れ可能な開口部１４を備えたフレーム１１と、開口部１４を開閉するとともに容器２の蓋４を保持するドア部１５と、を有し、ドア部１５には、ドア部１５に対して相対移動し、開口部１４の周囲に配置可能な可動板３１が設けられている。