LASER CHAMBER APPARATUS, GAS LASER APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE

A laser chamber apparatus according to one aspect of the present disclosure is provided with: a chamber; a first discharge electrode; a second discharge electrode; a conductive holder that holds the first discharge electrode; a first dielectric pipe that is disposed along the first discharge electrode; a second dielectric pipe that is disposed along the second discharge electrode so as to face the first dielectric pipe; a first preliminary ionization electrode that is disposed in an internal space of the first dielectric pipe; a second preliminary ionization electrode that is disposed in an internal space of the second dielectric pipe; a first insulating holder that is provided on the conductive holder and holds respective ends of the first dielectric pipe and the second dielectric pipe on one side; and a second insulating holder that is provided on the conductive holder and holds respective ends of the first dielectric pipe and the second dielectric pipe on the other side. Un appareil à chambre laser selon un aspect de la présente divulgation comprend : une chambre ; une première électrode de décharge ; une seconde électrode de décharge ; un support conducteur qui maintient la première électrode de décharge ; un premier tube diélectrique disposé le long de la première électrode de décharge ; un second tube diélectrique disposé le long de la seconde électrode de décharge de manière à faire face au premier tube diélectrique ; une première électrode d'ionisation préliminaire disposée dans un espace interne du premier tube diélectrique ; une seconde électrode d'ionisation préliminaire disposée dans un espace interne du second tube diélectrique ; un premier support isolant qui est disposé sur le support conducteur et maintient les extrémités respectives du premier et du second tube diélectrique d'un côté ; et un second support isolant qui est disposé sur le support conducteur et maintient les extrémités respectives du premier et du second tube diélectrique de l'autre côté. 本開示の１つの観点に係るレーザチャンバ装置は、チャンバと、第１放電電極と、第２放電電極と、第１放電電極を保持する導電性ホルダと、第１放電電極に沿って配置された第１誘電体パイプと、第１誘電体パイプに対向し、かつ第２放電電極に沿って配置された第２誘電体パイプと、第１誘電体パイプの内部空間に配置された第１予備電離電極と、第２誘電体パイプの内部空間に配置された第２予備電離電極と、導電性ホルダに配置され、第１誘電体パイプ及び第２誘電体パイプの一方の側の各端部を保持する第１絶縁性ホルダと、導電性ホルダに配置され、第１誘電体パイプ及び第２誘電体パイプの他方の側の各端部を保持する第２絶縁性ホルダと、を備える。