MAGNETIC BEARING ASSEMBLY AND VACUUM PUMP

A magnetic bearing assembly for a vacuum pump preferably a turbomolecular vacuum pump, comprising a static magnetic arrangement to be connected to a stator of the vacuum pump and a rotated magnetic arrangement to be connected to a rotor of the vacuum pump arranged coaxially to each other along an axis of rotation, the static magnetic arrangement comprising a plurality of first magnetic elements and an adjustment arrangement, the rotated magnetic arrangement comprising a plurality of second magnetic elements, the plurality of second magnetic elements being arranged with a predetermined axial offset with respect to the plurality of first magnetic elements of the static magnetic arrangement to create a bearing preload, wherein the adjustment arrangement is configured to compensate for the temperature dependent axial displacement of the rotated magnetic arrangement from the predetermined axial offset. La présente invention concerne un ensemble palier magnétique pour une pompe à vide, de préférence une pompe à vide turbomoléculaire, comprenant un agencement magnétique statique destiné à être raccordé à un stator de la pompe à vide et un agencement magnétique en rotation destiné à être raccordé à un rotor de la pompe à vide disposés coaxialement l'un par rapport à l'autre le long d'un axe de rotation, l'agencement magnétique statique comprenant une pluralité de premiers éléments magnétiques et un agencement de réglage, l'agencement magnétique en rotation comprenant une pluralité de seconds éléments magnétiques, la pluralité de seconds éléments magnétiques étant agencés avec un décalage axial prédéfini par rapport à la pluralité de premiers éléments magnétiques de l'agencement magnétique statique pour créer une précharge de palier, l'agencement de réglage étant conçu pour compenser le déplacement axial en fonction de la température de l'agencement magnétique en rotation à partir du décalage axial prédéfini.