A MICRO-ELECTROMECHANICAL-SYSTEM BASED MICRO SPEAKER

A micro-electromechanical-system (MEMS) based speaker inclu- des a support structure (110), and flexible membranes (221 222) connected to the support structure. The flexible membranes de- flect relative to the support structure (110) in response to a con- trol signals influencing piezoelectric actua...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	HANSSON, Josef, WÅRDH, Jonatan
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	ACOUSTICS ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICALVIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING,NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL MUSICAL INSTRUMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS SOUND-PRODUCING DEVICES TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A micro-electromechanical-system (MEMS) based speaker inclu- des a support structure (110), and flexible membranes (221 222) connected to the support structure. The flexible membranes de- flect relative to the support structure (110) in response to a con- trol signals influencing piezoelectric actuators (231, 232) mecha- nically linked to the flexible membranes. The flexible membranes (221 222) contain at least one slit (340) forming at least one opening between the flexible membrane and the support struc- ture and/or at least one opening in the flexible membranes. At least one bridging member (350) mechanically interconnects the flexible membrane and the support structure that are separated by the opening there between formed by the at least one slit and/or at least two portions of the flexible membrane that are separated by the at least one opening therein formed by the at least one slit. The at least one bridging member (350) is arran- ged in a plane different from a plane in which the flexible mem- branes (221, 222) are arranged in relation to the support struc- ture (110). L'invention concerne un haut-parleur fondé sur un microsystème électromécanique (MEMS) qui comprend une structure de support (110), et des membranes souples (221, 222) connectées à la structure de support. Les membranes souples se déforment par rapport à la structure de support (110) en réponse à des signaux de commande agissant sur des actionneurs piézoélectriques (231, 232) liés de manière mécanique aux membranes souples. Les membranes souples (221, 222) contiennent au moins une fente (340) formant au moins une ouverture entre la membrane souple et la structure de support et/ou au moins une ouverture dans les membranes souples. Au moins un élément de pontage (350) interconnecte de manière mécanique la membrane flexible et la structure de support qui sont séparées par l'ouverture entre elles formée par l'au moins une fente et/ou au moins deux parties de la membrane souple qui sont séparées par l'au moins une ouverture formée par l'au moins une fente. L'au moins un élément de pontage (350) est agencé dans un plan différent d'un plan dans lequel les membranes souples (221, 222) sont agencées par rapport à la structure de support (110).