IDENTIFICATION OF A GAS LEAK IN A LASER SYSTEM

Die Erfindung betrifft ein Verfahren (30) zur Erkennung eines Gaslecks in einer Gasleitung (24) einer Laseranlage (10). Dabei wird mit einem Detektor eine Laserstrahleigenschaft bestimmt, nachdem ein Laserstrahl (14) durch einen gasgefüllten Prozessraum (20) geleitet wurde. Das Gas des Prozessraums (20) wird zu verschiedenen Zeitpunkten (Pi) gewechselt, wobei es sich zuvor im Zeitraum (Ri) zwischen diesen Zeitpunkten (Pi), dem Gasalter, in der Gasleitung (24) befindet. Nach den Gaswechseln wird die Strahleigenschaft des Laserstrahls (14) mit einem Detektor detektiert und Strahlunterschiede (Si) der Strahleigenschaft mit Gasalterdifferenzen (Gi) zu Datenpaaren (Di) korreliert. Aus einer Änderung der Strahlunterschiede (Si) über der Gasalterdifferenz (Gi) lässt sich auf ein Gasleck in der Gasleitung (24) schließen. Die Strahlunterschiede (Si) über der Gasalterdifferenz (Gi) können linear gefittet werden, um das Gasleck zu quantifizieren. Die Berechnung und Analyse der Datenpaare (Di) kann durch einen Algorithmus (28) erfolgen. Vorzugsweise werden die Zeitpunkte (Pi) der Gaswechsel durch eine Gas- druckanalyse automatisiert vom Algorithmus (28) bestimmt. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Laseranlage (10) zur Durchführung eines solchen Verfahrens (30). The invention relates to a method (30) for identifying a gas leak in a gas line (24) of a laser system (10). A detector is used to determine a laser beam property after a laser beam (14) has been directed through a gas-filled process chamber (20). The gas in the process chamber (20) is changed at various times (Pi), wherein, in the period (Ri) between these times (Pi), the gas age, the gas is previously located in the gas line (24). After the gas changes, the beam property of the laser beam (14) is detected by a detector and beam differences (Si) of the beam property are correlated with gas age differences (Gi) for data pairs (Di). From a change in beam differences (Si) over the gas age difference (Gi) it can be concluded that there is a gas leak in the gas line (24). The beam differences (Si) over the gas age difference (Gi) can be fitted linearly in order to quantify the gas leak. The data pairs (Di) can be calculated and analysed by an algorithm (28). Preferably, the times (Pi) of the gas changes are determined automatically by the algorithm (28) by way of a gas pressure analysis. The invention also relates to a laser system (10) for carrying out such a method (30). L'invention concerne un procédé (30) po