ELECTRON MICROSCOPY APPARATUS AND METHOD FOR A TIME RESOLVED LOW ENERGY ELECTRON MICROSCOPY INVESTIGATION OF A SAMPLE

An electron microscopy apparatus (100) for time resolved low energy electron microscopy investigation of a sample (1) comprises a tip-shaped photo-emitter source (11), which is arranged for radiation-induced emission of source electrons (2) towards the sample (1), a radiation source device (20) for creating emitter excitation radiation (3) with an emitter excitation waveform and for irradiating the photo-emitter source (11) with the emitter excitation radiation (3), a sample excitation device (30) for applying a sample excitation (4) to the sample (1), and a detector device (40) for collecting sample electrons emerging at the sample (1) in response to an interaction of the source electrons (2) with the sample (1), wherein the electron microscopy apparatus (100) is configured for the time-resolved investigation of the sample (1) based on a synchronization of the sample excitation (4) applied to the sample (1) with the source electrons (2) received by the sample (1), and wherein the photo-emitter source (11) is configured for creating the source electrons (2) in response to the irradiation with the emitter excitation radiation (3) by an emission process in which the number of emitted electrons is linear with respect to the irradiated power of the emitter excitation radiation (3) on the photo- emitter source (11). Furthermore, an electron microscopy method of investigating a sample (1) by time resolved low energy electron microscopy is described. Appareil de microscopie électronique (100) pour l'étude de microscopie électronique à basse énergie à résolution dans le temps d'un échantillon (1), comprenant une source de photo-émetteur en forme de pointe (11), qui est conçue pour une émission induite par rayonnement d'électrons de source (2) en direction de l'échantillon (1), un dispositif de source de rayonnement (20) pour créer un rayonnement d'excitation d'émetteur (3) présentant une forme d'onde d'excitation d'émetteur, et pour irradier la source de photo-émetteur (11) au moyen du rayonnement d'excitation d'émetteur (3), un dispositif d'excitation d'échantillon (30) pour appliquer une excitation d'échantillon (4) à l'échantillon (1), et un dispositif de détecteur (40) pour collecter des électrons d'échantillon émergeant au niveau de l'échantillon (1) en réponse à une interaction des électrons de source (2) avec l'échantillon (1), l'appareil de microscopie électronique (100) étant conçu pour l'étude à résolution dans le temps de l'échantillon (1) sur la base d