SHOWERHEAD COLD PLATES AND SUBSTRATE SUPPORTS WITH SPIRAL-SHAPED CHANNELS AND CIRCULAR MANIFOLDS

A cold plate for a showerhead assembly includes: a body configured to be coupled to a showerhead of a substrate processing system; a first cooling layer including first spiral-shaped channels extending parallel to each other and azimuthally offset from each other; a first supply manifold supplying coolant to each of the first spiral-shaped channels; and a first return manifold receiving coolant from each of the first spiral-shaped channels. At least one of the first supply manifold and the first return manifold is circular shaped. L'invention concerne une plaque froide pour un ensemble pomme de douche, ladite plaque froide comprenant : un corps configuré pour être couplé à une pomme de douche d'un système de traitement de substrat; une première couche de refroidissement comprenant des premiers canaux en forme de spirale s'étendant parallèlement les uns aux autres et décalés en azimut les uns des autres; un premier collecteur d'alimentation fournissant un fluide de refroidissement à chacun des premiers canaux en forme de spirale; et un premier collecteur de retour recevant un fluide de refroidissement en provenance de chacun des premiers canaux en forme de spirale. Le premier collecteur d'alimentation et/ou le premier collecteur de retour sont de forme circulaire.