CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

In the present invention, the visibility of a region which is difficult to observe can be improved. A charged particle beam device 100 irradiates a sample with a charged particle beam 121 to obtain an observation image of the sample. The charged particle beam device 100 comprises: an electron gun 101 that emits a primary electron beam 121; and an energy discriminator 200 disposed between the electron gun 101 and a sample 111, and having a first region for discriminating, in accordance with energy, signal particles 122 emitted from the sample 111 irradiated with the charged particle beam 121, and a second region that allows signal particles 122 to pass therethrough. Dans la présente invention, la visibilité d'une région qui est difficile à observer peut être améliorée. Un dispositif à faisceau de particules chargées 100 irradie un échantillon avec un faisceau de particules chargées 121 pour obtenir une image d'observation de l'échantillon. Le dispositif à faisceau de particules chargées 100 comprend : un canon à électrons 101 qui émet un faisceau d'électrons primaire 121; et un discriminateur d'énergie 200 disposé entre le canon à électrons 101 et un échantillon 111, et ayant une première région pour discriminer, en fonction de l'énergie, des particules de signal 122 émises à partir de l'échantillon 111 irradié avec le faisceau de particules chargées 121, et une seconde région qui permet à des particules de signal 122 de passer à travers celles-ci. 観察が困難な領域の視認性を向上させることができる。荷電粒子ビーム装置１００は、試料に荷電粒子ビーム１２１を照射し、試料の観察像を得る荷電粒子ビーム装置１００であって、一次電子ビーム１２１を放出する電子銃１０１と、電子銃１０１と試料１１１との間に配置され、荷電粒子ビーム１２１が照射された試料１１１から放出された信号粒子１２２をエネルギーに応じて弁別する第１領域及び信号粒子１２２を通過させる第２領域を有するエネルギー弁別器２００と、を備える。