NANOPORE SENSOR DEVICE

A sensor device (902) for a nanopore sensor, the sensor device (902) comprising: an insulating substrate (903); one or more wells (908) for containing a fluid; wherein the one or more wells (908) are formed on a first side of the substrate (903); a sensor electrode (910) for detecting an ionic current in each of the one or more wells (908); wherein the sensor electrodes (910) are formed on the first side of the substrate (903) at the base of the one or more wells (910); one or more vias (912) extending through the substrate (903); wherein the one or more vias (912) are connected to sensor electrodes (910); wherein the one or more vias (912) each comprise a conducting cap (950) at one or both ends of the via (912). La présente invention concerne un dispositif de capteur (902) pour un capteur à nanopores, le dispositif de capteur (902) comprenant un substrat isolant (903); un ou plusieurs puits (908) pour contenir un fluide; le ou les puits (908) étant formés sur un premier côté du substrat (903); une électrode de capteur (910) pour détecter un courant ionique dans chacun du ou des puits (908); les électrodes de capteur (910) étant formées sur le premier côté du substrat (903) à la base du ou des puits (910); un ou plusieurs trous d'interconnexion (912) s'étendant à travers le substrat (903); le ou les trous d'interconnexion (912) étant connectés à des électrodes de capteur (910); le ou les trous d'interconnexion (912) comprenant chacun un capuchon conducteur (950) à une extrémité ou aux deux extrémités du trou d'interconnexion (912).