THERMALLY CONTROLLED CHAMBER DISCONNECT

An apparatus includes first and second assemblies. The first assembly includes a first disconnect having a first conduit connected thereto, and a temperature-controlled enclosure in contact with the first conduit. The first temperature-controlled enclosure is connected to a first part of a process chamber and includes a heater. The second assembly is connected to a second part of the process chamber, and includes a second disconnect having a second conduit connected thereto. At least one of the first and second parts is moveable between at least two configurations. In one configuration, the first and second parts are spaced apart. In another configuration, the first and second disconnects are fluidically connected to form, via the first and second conduits, a fluidic passageway spanning across a contact interface between the first and second parts. The temperature-controlled enclosure is configured, via the first heater, to transfer thermal energy to the first conduit. Un appareil comprend des premier et second ensembles. Le premier ensemble comprend un premier raccord ayant un premier conduit relié à celui-ci, et une enceinte à température régulée en contact avec le premier conduit. La première enceinte à température régulée est reliée à une première partie d'une chambre de traitement et comprend un dispositif de chauffage. Le second ensemble est relié à une seconde partie de la chambre de traitement, et comprend un second raccord ayant un second conduit relié à celui-ci. La première et/ou la seconde partie est mobile entre au moins deux configurations. Dans une configuration, les première et seconde parties sont espacées. Dans une autre configuration, les premier et second raccords sont reliés en communication fluidique pour former, par l'intermédiaire des premier et second conduits, un passage fluidique s'étendant à travers une interface de contact entre les première et seconde parties. L'enceinte à température régulée est conçue, par l'intermédiaire du premier dispositif de chauffage, pour transférer de l'énergie thermique au premier conduit.