NONLINEAR CHANNEL

A finFET that includes a nonlinear channel is presented. The nonlinear channel includes one or more arced, curved, segmented, or the like, sidewall(s) that define a channel width and a channel length. The nonlinear channel provides a relatively increased channel length compared to a linear fin that is orientated orthogonal to the gate width. As such, channel length of the nonlinear channel may be relatively increased within the confines of the gate. In other words, short channel effects may be limited due to a reduced electric field along the nonlinear channel due to the relatively increased channel or fin length within the footprint of the gate. L'invention concerne un finFET qui comprend un canal non linéaire. Le canal non linéaire comprend une ou plusieurs parois latérales arquées, incurvées, segmentées ou similaires, qui définissent une largeur de canal et une longueur de canal. Le canal non linéaire fournit une longueur de canal relativement accrue par rapport à une ailette linéaire qui est orientée orthogonalement à la largeur de grille. Ainsi, la longueur de canal du canal non linéaire peut être relativement augmentée dans les limites de la grille. En d'autres termes, des effets de canal court peuvent être limités en raison d'un champ électrique réduit le long du canal non linéaire en raison du canal ou de la longueur d'ailette relativement accrue à l'intérieur de l'empreinte de la grille.