HIGH-POWER COMPACT VUV LASER-SUSTAINED PLASMA LIGHT SOURCE

A compact LSP broadband light includes a gas containment structure containing a mixture of a first noble gas and a second noble gas, a filter tube positioned within the gas containment structure, an input window, and a pump source. The laser pump source directs an optical pump through the input window to sustain a plasma within the filter tube. The first noble gas absorbs broadband light within a first and a second wavelength band. The filter tube absorbs broadband light having a wavelength below a selected threshold. The absorption of broadband light by the first noble gas and the filter tube provide long-pass filtering to protect one or more downstream optical elements. The gas containment structure includes an output optical window for transmission of filtered broadband light. The gas containment structure includes a gas inlet and outlet for generating a reverse vortex flow pattern within the filter tube. Une lumière large bande LSP compacte comprend une structure de confinement de gaz contenant un mélange d'un premier gaz noble et d'un second gaz noble, un tube à filtre positionné à l'intérieur de la structure de confinement de gaz, une fenêtre d'entrée et une source de pompe. La source de pompe laser dirige une pompe optique à travers la fenêtre d'entrée pour maintenir un plasma à l'intérieur du tube à filtre. Le premier gaz noble absorbe la lumière à large bande à l'intérieur d'une première et d'une seconde bande de longueur d'onde. Le tube à filtre absorbe la lumière à large bande ayant une longueur d'onde inférieure à un seuil sélectionné. L'absorption de lumière à large bande par le premier gaz noble et le tube à filtre assure un filtrage passe-long pour protéger un ou plusieurs éléments optiques en aval. La structure de confinement de gaz comprend une fenêtre optique de sortie pour la transmission de lumière à large bande filtrée. La structure de confinement de gaz comprend une entrée et une sortie de gaz pour générer un motif d'écoulement à vortex inverse à l'intérieur du tube à filtre.