GRINDING DEVICE, INCLINATION ADJUSTMENT METHOD AND INFORMATION DISPLAY UNIT

Provided is a grinding device for grinding a substrate, the grinding device including: a substrate holding unit that holds a substrate on a holding surface; a grinding unit that grinds, with a grinding surface, the substrate held by the substrate holding unit; an inclination adjustment unit that adj...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: YARIMITSU, Masakazu, FUKUNAGA, Nobutaka
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:Provided is a grinding device for grinding a substrate, the grinding device including: a substrate holding unit that holds a substrate on a holding surface; a grinding unit that grinds, with a grinding surface, the substrate held by the substrate holding unit; an inclination adjustment unit that adjusts a relative inclination of the holding surface and the grinding surface; and an information display unit that receives input of information pertaining to shape correction of the substrate and displays that information. The information display unit, on the basis of information about the thickness of the substrate before the correction and information about correction patterns, displays a display area in which a predicted ground shape of the substrate to be ground by the grinding unit is displayed. L'invention concerne un dispositif de meulage pour meuler un substrat, le dispositif de meulage comprenant : une unité de maintien de substrat qui maintient un substrat sur une surface de maintien; une unité de meulage qui meule, avec une surface de meulage, le substrat maintenu par l'unité de maintien de substrat; une unité de réglage d'inclinaison qui règle une inclinaison relative de la surface de maintien et de la surface de meulage; et une unité d'affichage d'informations qui reçoit une entrée d'informations concernant la correction de forme du substrat et affiche ces informations. L'unité d'affichage d'informations, sur la base d'informations concernant l'épaisseur du substrat avant la correction et d'informations concernant des motifs de correction, affiche une zone d'affichage dans laquelle une forme meulée prédite du substrat à meuler par l'unité de meulage est affichée. 基板を研削する研削装置であって、前記基板を保持面上に保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された前記基板を研削面により研削する研削部と、前記保持面と前記研削面の相対的な傾きを調整する傾き調整部と、前記基板の形状補正に関する情報を入力及び表示する情報表示部と、を有し、前記情報表示部は、補正前の前記基板の厚み情報と補正パターン情報に基づいて、前記研削部により研削処理される基板の予想研削形状を表示する表示エリア、を表示する。