CONVEYANCE DEVICE, LASER IRRADIATING DEVICE, CONVEYANCE METHOD, AND PRODUCTION METHOD FOR ORGANIC EL DISPLAY DEVICE

A conveyance device (6) according to the present embodiment comprises: a conveyance unit that moves a substrate in a conveyance direction; and a conveyance unit that, in a plan view, moves the substrate outside an irradiation position (65). The conveyance unit has a holding mechanism which holds the substrate and a linear motor (601) which moves the holding mechanism linearly. The conveyance unit has a holding mechanism which holds the substrate, a belt (709) to which the holding mechanism is connected, a pulley (716) on which the belt (709) is installed, and an AC servo motor (711) which rotates the pulley (716). Un dispositif de transport (6) selon le présent mode de réalisation comprend : une unité de transport qui déplace un substrat dans une direction de transport ; et une unité de transport qui, dans une vue en plan, déplace le substrat en dehors d'une position d'exposition à un rayonnement (65). L'unité de transport comporte un mécanisme de retenue qui retient le substrat et un moteur linéaire (601) qui déplace linéairement le mécanisme de retenue. L'unité de transport comporte un mécanisme de retenue qui retient le substrat, une courroie (709) à laquelle est relié le mécanisme de retenue, une poulie (716) sur laquelle est installée la courroie (709), et un servomoteur à CA (711) qui fait tourner la poulie (716). 本実施の形態にかかる搬送装置（６）は、搬送方向に基板を移動する搬送ユニットと、上面視において、照射位置（６５）の外側で基板を移動する搬送ユニットと、を備え、搬送ユニットが、基板を保持する保持機構と、保持機構を直進移動させるリニアモータ（６０１）と、を有しており、搬送ユニットが、基板を保持する保持機構と、保持機構が連結されたベルト（７０９）と、ベルト（７０９）が掛け回されたプーリ（７１６）と、プーリ（７１６）を回転させるＡＣサーボモータ（７１１）と、を有している。