VIBRATION MONITORING SYSTEM AND METHOD USING METAL SURFACE WAVE COMMUNICATION

In order to solve the limitations of the prior art that has a limitation making it difficult to build a sensor network for detecting, by using wireless communication, vibration with respect to a large-scale production facility that comprises a plurality of process chambers, such as for semiconductor or display processes, and requires precise process management, the present invention comprises: a first vibration sensor unit that comprises a vibration sensor and a surface wave resonator and is installed inside a process chamber made of a metal material; a second vibration sensor unit that comprises a vibration sensor and a communication module and is installed in the remaining portion; and a data transmission unit that comprises an access point (AP) for collecting measurement data from each of the vibration sensors. Therefore, provided are a vibration monitoring system and method using metal surface wave communication, enabling accurate and precise vibration monitoring and source tracking, by using metal surface wave communication and wireless communication together, even in an environment in which wireless communication may not be used. Afin de résoudre les limitations de l'état de la technique qui rendent difficile la construction d'un réseau de capteurs pour la détection par communication sans fil des vibrations dans une installation de production à grande échelle qui comprend plusieurs chambres de traitement, par exemple pour les semi-conducteurs ou les écrans, et qui nécessite une gestion précise du processus, la présente invention comprend : une première unité de capteur de vibrations comprenant un capteur de vibrations et un résonateur à ondes de surface, installée à l'intérieur d'une chambre de traitement constituée d'un matériau métallique ; une seconde unité de capteur de vibrations comprenant un capteur de vibrations et un module de communication, installée dans la partie restante ; et une unité de transmission de données comprenant un point d'accès pour collecter les données de mesure de chacun des capteurs de vibrations. Par conséquent, l'invention concerne un système et un procédé de surveillance des vibrations par communication à ondes de surface métalliques, permettant une surveillance précise et exacte des vibrations et le suivi de la source, par l'utilisation conjointe de la communication à ondes de surface métalliques et de la communication sans fil, même dans un environnement dans lequel la communication sans fil peut ne pas être utilisée