PROBE MODULE AND MICROPROBE SYSTEM COMPRISING SAME

A probe module is provided. The probe module according to an embodiment may comprise: a base; a guide rail which is provided on the base; a guide member which slides along the guide rail; a rotating member which is connected to the guide member to be rotatable with respect to the guide member about a first axis parallel to the height direction; a probe assembly which is connected to the rotating member to be rotatable with respect to the rotating member about a second axis perpendicular to the first axis in a first horizontal rotation direction approaching a specimen and a second horizontal rotation direction away from the specimen, and includes a probe; and an elastic member which provides torque to the probe assembly in the first horizontal rotation direction. L'invention concerne un module de sonde. Selon un mode de réalisation, le module de sonde peut comprendre : une base ; un rail de guidage disposé sur la base ; un élément de guidage coulissant le long du rail de guidage ; un élément rotatif relié à l'élément de guidage pour pouvoir tourner par rapport à l'élément de guidage autour d'un premier axe parallèle au sens de la hauteur ; un ensemble sonde relié à l'élément rotatif pour pouvoir tourner par rapport à l'élément rotatif autour d'un second axe perpendiculaire au premier axe dans une première direction de rotation horizontale s'approchant d'un échantillon et une seconde direction de rotation horizontale s'éloignant de l'échantillon, et comprenant une sonde ; et un élément élastique fournissant un couple à l'ensemble sonde dans la première direction de rotation horizontale. 프로브 모듈을 제공한다. 일 실시 예에 따른 프로브 모듈은, 베이스; 상기 베이스에 설치되는 가이드 레일; 상기 가이드 레일을 따라 슬라이딩 하는 가이드부재; 높이 방향에 나란한 제1 축을 중심으로 상기 가이드부재에 대하여 회전 가능하도록 상기 가이드부재에 연결되는 회전부재; 상기 제1 축에 수직한 제2 축을 중심으로 시편과 가까워지는 제1 수평 회전 방향 및 멀어지는 제2 수평 회전 방향으로 상기 회전부재에 대하여 회전 가능하도록 상기 회전부재에 연결되고, 프로브를 포함하는 프로브 조립체; 및 상기 프로브 조립체에 대하여 제1 수평 회전 방향으로 토크를 제공하는 탄성부재를 포함할 수 있다.